Prozess- und Maschinenentwicklung für das kontinuierliche, variotherme Heißprägen

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Variotherme Anlagenkonzepte sind in der kontinuierlichen, thermischen Nanoimprintlithographie (T-NIL) bisher vor allem im Forschungsumfeld zu finden. Diese Dissertation hat das Ziel, die Übertragung variothermer Verfahrensansätze auf das kontinuierliche Verfahren anhand eines T-NIL-Moduls aufzuzeigen. Es wird ein Simulationsmodell für die Temperaturverteilung auf dem Prägewerkzeug entwickelt. Die Ergebnisse werden im Rahmen einer Pilotproduktion auf den realen Prozess übertragen. Jetzt reinlesen: Inhaltsverzeichnis(pdf)