Vibrationen sind der stärkste limitierende Faktor der Messgenauigkeit von Formprüfinterferometern. Kommerzielle vibrationstolerante Modelle kosten zwischen 120 und 200 TEuro. Diese Doktorarbeit entwickelt ein Zufalls-Phasenschiebe-Interferometer, das einen kostengünstigeren Ansatz zur vibrationstoleranten Messung sphärischer Präzisionsflächen bietet. Der Aufbau basiert auf einem Fizeau-Interferometer, das nach dem Phasenschiebeverfahren arbeitet und zwei Sensorsysteme kombiniert. Das erste ist ein flächenhaft messender Kamerasensor, der unter Vibrationseinfluss zufällige Phasenverschiebungen erfasst. Eine sehr kurze Belichtungszeit „friert“ die Interferenzaufnahmen ein. Das zweite Sensorsystem ist hochauflösend und misst die Phasenverschiebung der Testfläche an vier Punkten mit schnell abgetasteten Photodioden. Durch simulationsunterstützte Berechnung der Kugelmittelpunktsverschiebung lassen sich die Phasenverschiebungen der gesamten Oberfläche für jedes Interferenzbild bestimmen. Ein speziell entwickelter Zufalls-Phasenschiebe-Algorithmus ist erforderlich, um die Oberfläche zu berechnen. Zur Validierung wurden Messreihen mit einer sphärischen Testfläche unter Vibrationseinfluss durchgeführt und mit kommerziellen Interferometern verglichen. Die Ergebnisse zeigen, dass die Leistungsfähigkeit konkurrenzfähig ist, mit PV-Werten im einstelligen Nanometerbereich.
