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Experimentelle und theoretische Untersuchungen zur Zonenschmelzrekristallisation dicker und dünner polykristalliner Siliciumschichten auf amorphen isolierenden Substraten

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Experimentelle und theoretische Untersuchungen zur Zonenschmelzrekristallisation dicker und dünner polykristalliner Siliciumschichten auf amorphen isolierenden Substraten, Harald Richter

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Erscheinungsdatum
1993
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