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Plasmagestütztes CVD mit metallorganischen und analogen Verbindungen

Autoren

Andreas Gebauer

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Fotografie & Kameratechnik

Reihe: Fortschrittberichte VDI : Reihe 5, Grund- und Werkstoffe, Kunststoffe

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Plasmagestütztes CVD mit metallorganischen und analogen Verbindungen, Andreas Gebauer

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Erscheinungsdatum: 1994

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