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In-situ-Analyse des epitaktischen Wachstums von III-V-Halbleitern mit der Reflexions-Anisotropie-Spektroskopie (RAS)

Autoren

Frank Reinhardt

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Skripten & Universitätslehrbücher

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In-situ-Analyse des epitaktischen Wachstums von III-V-Halbleitern mit der Reflexions-Anisotropie-Spektroskopie (RAS), Frank Reinhardt

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Erscheinungsdatum: 1994

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