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Chemisch-thermodynamische Untersuchung des Systems GaAs/B2O3/Gasphase; ein Beitrag zur Prozesschemie des LEC-Verfahrens
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Chemisch-thermodynamische Untersuchung des Systems GaAs/B2O3/Gasphase; ein Beitrag zur Prozesschemie des LEC-Verfahrens, Karl-Reiner Kichartz
- Sprache
- Erscheinungsdatum
- 1996
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- Titel
- Chemisch-thermodynamische Untersuchung des Systems GaAs/B2O3/Gasphase; ein Beitrag zur Prozesschemie des LEC-Verfahrens
- Sprache
- Deutsch
- Autor*innen
- Karl-Reiner Kichartz
- Verlag
- Shaker
- Erscheinungsdatum
- 1996
- ISBN10
- 3826512987
- ISBN13
- 9783826512988
- Reihe
- Berichte aus der Halbleitertechnik
- Kategorie
- Fotografie & Kameratechnik