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Plasmadiagnostische und oberflächenanalytische Untersuchungen zum Mechanismus der Abscheidung reaktiv gesputterter TiNx-Schichten

Autoren

Roman Roth

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Kategorien

Fotografie & Kameratechnik

Reihe: Fortschrittberichte VDI : Reihe 5, Grund- und Werkstoffe, Kunststoffe

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Plasmadiagnostische und oberflächenanalytische Untersuchungen zum Mechanismus der Abscheidung reaktiv gesputterter TiNx-Schichten, Roman Roth

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Erscheinungsdatum: 1996

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