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Plasmaunterstützte CVD-Abscheidung von Hartstoffschichten unter Verwendung metallorganischer Ausgangsverbindungen

Autoren

Harald Berndt

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Skripten & Universitätslehrbücher

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Plasmaunterstützte CVD-Abscheidung von Hartstoffschichten unter Verwendung metallorganischer Ausgangsverbindungen, Harald Berndt

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Erscheinungsdatum: 1996

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