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Aufbringung von Siliziumoxidschichten durch Plasma-CVD und Anwendung auf Beschichtungen in einer Plasma-Wirbelschicht
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Aufbringung von Siliziumoxidschichten durch Plasma-CVD und Anwendung auf Beschichtungen in einer Plasma-Wirbelschicht, Christian Bayer
- Sprache
- Erscheinungsdatum
- 1998
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- Titel
- Aufbringung von Siliziumoxidschichten durch Plasma-CVD und Anwendung auf Beschichtungen in einer Plasma-Wirbelschicht
- Sprache
- Deutsch
- Autor*innen
- Christian Bayer
- Verlag
- VDI-Verl.
- Erscheinungsdatum
- 1998
- ISBN10
- 3183534037
- ISBN13
- 9783183534036
- Reihe
- Fortschrittberichte VDI : Reihe 3, Verfahrenstechnik
- Kategorie
- Fotografie & Kameratechnik