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Reaktionen, Zwischenprodukte und Verfahren zur Herstellung von amorphen Si3N4-Pulvern durch Umsetzung von SiCl4 mit HN3 in der Gasphase

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Reaktionen, Zwischenprodukte und Verfahren zur Herstellung von amorphen Si3N4-Pulvern durch Umsetzung von SiCl4 mit HN3 in der Gasphase, Gerald Ziegenbalg

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Erscheinungsdatum
1999
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