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Wachstum und Eigenschaften von ionenstrahlunterstützt aufgedampften TiN-Schichten

Autoren

Detlef Wolff

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Skripten & Universitätslehrbücher

Reihe: Berichte aus der Physik

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Wachstum und Eigenschaften von ionenstrahlunterstützt aufgedampften TiN-Schichten, Detlef Wolff

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Erscheinungsdatum: 2000

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