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Untersuchung von Aluminiumnitrid-Schichten auf Silizium-Substraten mittels Transmissionselektronenmikroskopie
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Untersuchung von Aluminiumnitrid-Schichten auf Silizium-Substraten mittels Transmissionselektronenmikroskopie
Autoren
Jörg Ralf Jinschek
Parameter
ISBN
9783935445238
Verlag
NoRa
Kategorien
Skripten & Universitätslehrbücher
NoRa science
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