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Untersuchung von Aluminiumnitrid-Schichten auf Silizium-Substraten mittels Transmissionselektronenmikroskopie

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Untersuchung von Aluminiumnitrid-Schichten auf Silizium-Substraten mittels Transmissionselektronenmikroskopie, Jörg Ralf Jinschek

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Erscheinungsdatum
2001
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