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Aufskalierung eines gepulsten PACVD-Prozesses mittels optischer Emissionsspektroskopie
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Aufskalierung eines gepulsten PACVD-Prozesses mittels optischer Emissionsspektroskopie, Martin Eckel
- Sprache
- Erscheinungsdatum
- 2002
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- Titel
- Aufskalierung eines gepulsten PACVD-Prozesses mittels optischer Emissionsspektroskopie
- Sprache
- Deutsch
- Autor*innen
- Martin Eckel
- Verlag
- Jost-Jetter
- Erscheinungsdatum
- 2002
- ISBN10
- 3931388999
- ISBN13
- 9783931388997
- Reihe
- IPA-IAO-Forschung und Praxis
- Kategorie
- Skripten & Universitätslehrbücher