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Einfluss von Defekten auf die Wachstumskinetik bei der Epitaxie von Kalziumdifluorid und Silizium

Autoren

Markus Bierkandt

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Skripten & Universitätslehrbücher

Reihe: Fortschrittberichte VDI : Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik

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Einfluss von Defekten auf die Wachstumskinetik bei der Epitaxie von Kalziumdifluorid und Silizium, Markus Bierkandt

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Erscheinungsdatum: 2003

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