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Influence of the plasma chemistry and energetics on the composition and structure evolution of sputtered oxide thin films

Autoren

Stanislav Mráz

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Skripten & Universitätslehrbücher

Reihe: Materials chemistry dissertation

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Influence of the plasma chemistry and energetics on the composition and structure evolution of sputtered oxide thin films, Stanislav Mráz

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Erscheinungsdatum: 2006
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