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Schnelle thermische Prozessierung und Charakterisierung dünner nitridierter Oxide

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Anton Bauer

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Skripten & Universitätslehrbücher

Reihe: Berichte aus der Halbleitertechnik

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Schnelle thermische Prozessierung und Charakterisierung dünner nitridierter Oxide, Anton Bauer

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Erscheinungsdatum: 1995

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