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Entwicklung eines Prozesses zur monolithischen Integration piezoresistiver Beschleunigungssensoren in einem komerziellen 2 μm [mym] CMOS Prozess

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Entwicklung eines Prozesses zur monolithischen Integration piezoresistiver Beschleunigungssensoren in einem komerziellen 2 μm [mym] CMOS Prozess, Werner Riethmüller

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Erscheinungsdatum
1995
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