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Ein passives Fokusverfahren zur Vermessung von Mikrostrukturen

Autoren

Gerrit Rönneberg

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Skripten & Universitätslehrbücher

Reihe: Fortschrittberichte VDI : Reihe 8, Meß-, Steuerungs- und Regelungstechnik

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Ein passives Fokusverfahren zur Vermessung von Mikrostrukturen, Gerrit Rönneberg

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Erscheinungsdatum: 1999

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