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Entwicklung von CMOS-kompatiblen 50V-"Smart-Power"-Prozessen mit vollständiger dielektrischer Isolation auf BSOI- und lokalen SIMOX-Substraten

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Entwicklung von CMOS-kompatiblen 50V-"Smart-Power"-Prozessen mit vollständiger dielektrischer Isolation auf BSOI- und lokalen SIMOX-Substraten, Joachim Weyers

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2002
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