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Silizium-Planartechnologie

Grundprozesse, Physik und Bauelemente

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Die Grundlagen der Mikroelektronik werden kompakt und in leicht verständlicher Form vorgestellt. Der Leser erfährt, wie integrierte Schalkreise hergestellt werden, wie sie funktionieren und welche Bauelemente sich realisieren lassen.

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Silizium-Planartechnologie, Hans-Günther Wagemann

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Erscheinungsdatum
2003
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