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Untersuchung der Stabilität von Cu-Diffusionsbarrieren mit Hilfe von Schottky-Dioden

Autoren

Carsten Ahrens

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Skripten & Universitätslehrbücher

Reihe: Berichte aus der Halbleitertechnik

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Untersuchung der Stabilität von Cu-Diffusionsbarrieren mit Hilfe von Schottky-Dioden, Carsten Ahrens

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Erscheinungsdatum: 2003

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