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Synthesis of compliant single crystal silicon mechanisms with large deformation
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Synthesis of compliant single crystal silicon mechanisms with large deformation, Xiao-Ming Chen
- Sprache
- Erscheinungsdatum
- 2009
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- Titel
- Synthesis of compliant single crystal silicon mechanisms with large deformation
- Sprache
- Englisch
- Autor*innen
- Xiao-Ming Chen
- Verlag
- Der Andere Verl.
- Erscheinungsdatum
- 2009
- Einband
- Paperback
- ISBN10
- 3899598989
- ISBN13
- 9783899598988
- Reihe
- Microactuators - design and technology
- Kategorie
- Skripten & Universitätslehrbücher