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Synthese und Anwendung von mit Hilfe der metallorganischen Gasphasenabscheidung gewachsenen ZnO basierten II-VI Verbindungshalbleitern
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Das Ziel dieser Arbeit ist die Herstellung von ZnO- und ZnMgO-Schichten und Nanostrukturen mit Hilfe der metallorganischen Gasphasenabscheidung (MOCVD) und deren Anwendung in elektrischen Komponenten. Für die Materialsynthese dienten Sauerstoff, DEZn und Cp 2 Mg als Präkursoren. Im einzelnen werden Zn(Mg)O Schichten/Nanostrukturen synthetisiert, charakterisiert und prozessiert. Hierauf aufbauend werden erfolgreich Dünnschichttransistoren, Gassensoren sowie Fotodetektoren realisiert.
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Synthese und Anwendung von mit Hilfe der metallorganischen Gasphasenabscheidung gewachsenen ZnO basierten II-VI Verbindungshalbleitern, Jens-Peter Willms
- Sprache
- Erscheinungsdatum
- 2013
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- Titel
- Synthese und Anwendung von mit Hilfe der metallorganischen Gasphasenabscheidung gewachsenen ZnO basierten II-VI Verbindungshalbleitern
- Sprache
- Deutsch
- Autor*innen
- Jens-Peter Willms
- Verlag
- Shaker
- Verlag
- 2013
- ISBN10
- 3844022252
- ISBN13
- 9783844022254
- Kategorie
- Skripten & Universitätslehrbücher
- Beschreibung
- Das Ziel dieser Arbeit ist die Herstellung von ZnO- und ZnMgO-Schichten und Nanostrukturen mit Hilfe der metallorganischen Gasphasenabscheidung (MOCVD) und deren Anwendung in elektrischen Komponenten. Für die Materialsynthese dienten Sauerstoff, DEZn und Cp 2 Mg als Präkursoren. Im einzelnen werden Zn(Mg)O Schichten/Nanostrukturen synthetisiert, charakterisiert und prozessiert. Hierauf aufbauend werden erfolgreich Dünnschichttransistoren, Gassensoren sowie Fotodetektoren realisiert.