Optimierung von HF-Gasentladungen für schnell längsgeströmte CO2-Laser

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Inhaltsverzeichnis: Symbole und Abkürzungen. 1 Einleitung: Historischer Überblick der CO2-Laserentwicklung; Zielsetzung und Gliederung der Arbeit. 2 Die HF-Gasentladung: Allgemeine Charakteristiken; Modell der HF-Entladung; Einkopplung der HF-Leistung. 3 Anpassung des HF-Generators an die Entladung: Der HF-Generator; Kalibrierung der HF-Generatorleistung; Anpaßnetzwerk; Elektrische Schaltbilder; Vergleich der Impedanzkurven; HF-Verhalten von Anpaßnetzwerk und Laser; Überblick der wichtigsten Ergebnisse. 4 Messung des Plasmawiderstands: Rechnerische Simulation der Impedanz; Messung mit dem Leitungsreflektometer; Strommessungen; Überblick der wichtigsten Ergebnisse. 5 Optimierungsparameter: Geometrische Parameter; Entladungsphysikalische Parameter; Ermittlung elektrophysikalischer Größen; Fluidmechanische Parameter; Messung von Temperatur, Druck und Strömungsgeschwindigkeit. 6 Untersuchung der Entladungshomogenität: Experimenteller Aufbau; Versuchsparameter; Rohrlänge und HF-Zuführung; Ergebnisse der Messungen; Überblick der wichtigsten Ergebnisse. 7 Interferometrische Untersuchungen: Vorbetrachtungen zur optischen Deformation; Meßaufbau und Meßprinzip; Meßergebnisse. 8 Messung der Kleinsignalverstärkung: Interpretation der Meßergebnisse; Überblick der wichtigsten Ergebnisse. 9 Messung der Großsignalverstärkung: Meßprinzipien; Meßergebnisse der Verstärkermethode; Überblick der wichtigsten Ergebnisse. 10 Zusammenfassung. A HF-Ent