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Aufbau und Charakterisierung einer Sputteranlage zur Erzeugung von Mehrfachschichten aus Nickel und Germanium für Optiken im Bereich weicher Röntgenstrahlung

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Aufbau und Charakterisierung einer Sputteranlage zur Erzeugung von Mehrfachschichten aus Nickel und Germanium für Optiken im Bereich weicher Röntgenstrahlung, Roland Hilkenbach

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1995
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