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MBE-Wachstum, Struktur und elektrische Transporteigenschaften epitaktischer Si/CoSi2/Si(100)-Heterostrukturen

Autoren

Carsten Schäffer

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Skripten & Universitätslehrbücher

Reihe: Berichte aus der Halbleitertechnik

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MBE-Wachstum, Struktur und elektrische Transporteigenschaften epitaktischer Si/CoSi2/Si(100)-Heterostrukturen, Carsten Schäffer

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Erscheinungsdatum: 1996

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