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Abscheidung superharter Schichten aus dem ternären System B, C und N mit einem HF-PLD-Hybridverfahren

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Thomas Klotzbücher

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Skripten & Universitätslehrbücher

Reihe: Berichte aus der Lasertechnik

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Abscheidung superharter Schichten aus dem ternären System B, C und N mit einem HF-PLD-Hybridverfahren, Thomas Klotzbücher

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Erscheinungsdatum: 1999

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