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Entwicklung von Technologien zur Herstellung von piezoelektrisch angeregten, mikromechanischen Resonatorstrukturen in Silizium und Quarz

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Berichte aus der Mikromechanik

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Entwicklung von Technologien zur Herstellung von piezoelektrisch angeregten, mikromechanischen Resonatorstrukturen in Silizium und Quarz, Joachim Wagner

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1995
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