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Entwicklung hochauflösender Flächenlichtmodulatoren mit deformierbaren Spiegelanordnungen für die maskenlose Mikrolithographie
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Entwicklung hochauflösender Flächenlichtmodulatoren mit deformierbaren Spiegelanordnungen für die maskenlose Mikrolithographie, Andreas Gehner
- Sprache
- Erscheinungsdatum
- 1997
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- Titel
- Entwicklung hochauflösender Flächenlichtmodulatoren mit deformierbaren Spiegelanordnungen für die maskenlose Mikrolithographie
- Sprache
- Deutsch
- Autor*innen
- Andreas Gehner
- Verlag
- Shaker
- Erscheinungsdatum
- 1997
- ISBN10
- 3826525795
- ISBN13
- 9783826525797
- Reihe
- Berichte aus der Elektrotechnik
- Kategorie
- Skripten & Universitätslehrbücher