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Kapazitive Schallwandler mit interner Polarisation auf Polymerbasis sowie in Siliziummikromechanik

Autoren

Reiner Kreßmann

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Skripten & Universitätslehrbücher

Reihe: Berichte aus der Mikromechanik

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Kapazitive Schallwandler mit interner Polarisation auf Polymerbasis sowie in Siliziummikromechanik, Reiner Kreßmann

Sprache
Erscheinungsdatum: 2002

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