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Oberflächenmikromechanische Sensoren für Drehbeschleunigung und magnetische Feldstärke

Autoren

Harald Emmerich

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Skripten & Universitätslehrbücher

Reihe: Berichte aus der Mikromechanik

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Oberflächenmikromechanische Sensoren für Drehbeschleunigung und magnetische Feldstärke, Harald Emmerich

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Erscheinungsdatum: 2002

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