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Es wird die Prototypenentwicklung eines Mikrotasters für die dreidimensionale dimensionelle Metrologie an Komponenten der Mikrosystemtechnik beschrieben.
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Messung dreidimensionaler Mikrostrukturen, Thomas Kleine-Ostmann
- Sprache
- Erscheinungsdatum
- 2001
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- Titel
- Messung dreidimensionaler Mikrostrukturen
- Sprache
- Deutsch
- Autor*innen
- Thomas Kleine-Ostmann
- Verlag
- 2001
- ISBN10
- 3897016982
- ISBN13
- 9783897016989
- Kategorie
- Skripten & Universitätslehrbücher
- Beschreibung
- Es wird die Prototypenentwicklung eines Mikrotasters für die dreidimensionale dimensionelle Metrologie an Komponenten der Mikrosystemtechnik beschrieben.