Beiträge zum Aufbau und zur Technologie LTCC-basierter mikrofluidischer Bauelemente und Systeme

Die Low Temperature Cofiring Ceramic (LTCC) Technologie ist ein modernes Verfahren der Dickschichttechnik. Sie dient zur Herstellung mehrlagiger keramischer Verdrahtungsträger. Die vorgestellten Ergebnisse veranschaulichen, inwieweit die Low Temperature Cofiring Ceramic Technologie zur Realisierung keramischer mikrofluidischer Bauelemente und Systeme genutzt werden kann. Hierbei sind Modifikationen im Standard Technologieablauf erforderlich. So gestattet die genutzte Folientechnologie auf einfache Weise die Herstellung 3-dimensionaler Mehrlagensysteme mit integrierten mechanischen Funktionselementen. Diese Möglichkeiten werden aufgezeigt und hinsichtlich ihrer jeweiligen Limitierung beschrieben. Die elektrischen, mechanischen und physikalischen Eigenschaften gesinterter LTCC bieten Ansatzpunkte zur gezielten Realisierung mikrofluidischer Anforderungen. Neben den Möglichkeiten nichtelektrische Funktionen in den keramischen Verdrahtungsträger zu integrieren wird auch auf Aspekte bei der Entwicklung komplexer Baugruppen sowie deren Montage eingegangen. Zur Veranschaulichung des Potenzials dieser Technologie dient die Realisierung konkreter Applikationen.