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Ultradünne hochrelaxierte Silizium-Germanium-Pufferschichten auf Si als "virtuelle Substrate"

Autoren

Matthias Bauer

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Skripten & Universitätslehrbücher

Reihe: Berichte aus der Halbleitertechnik

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Ultradünne hochrelaxierte Silizium-Germanium-Pufferschichten auf Si als "virtuelle Substrate", Matthias Bauer

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Erscheinungsdatum: 2003

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