Mobile Mikroroboter im Rasterelektronenmikroskop

In unterschiedlichsten Anwendungsbereichen des Rasterelektronenmikroskops (REM) werden flexible Systeme zur Handhabung sehr kleiner Objekte benötigt. Diese Arbeit beschreibt die Entwicklung eines Robotersystems, das auf piezogetriebenen mobilen Mikrorobotern basiert. Für die Teleoperation der Mikroroboter wird eine komfortable Steuerung konzipiert. Die Erprobung im REM zeigt, dass mit diesem ferngesteuerten System Aufgaben im Bereich weniger Millimeter bis hinab in den Submikrometerbereich gleichermaßen intuitiv und präzise durchgeführt werden können. Für die Automation solcher Mikromanipulationsaufgaben ist eine Positionssensorik notwendig, die alle Freiheitsgrade der Roboter erfasst. Das Bewegungsprinzip der mobilen Mikroroboter erlaubt jedoch keine interne Sensorik wie bei konventionellen Industrierobotern. Dieser Arbeit liegt daher das Konzept zugrunde, das REM selbst als externes Sensorsystem zu verwenden. Es wird gezeigt, wie die hohe Auflösung des REMs für die Positionierung von Mikrorobotern genutzt werden kann.