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Untersuchung von Kobaltsilizid-Prozessen für die Anwendung an Basis-Kontakten integrierter Si-SiGe-Heterobipolartransistoren
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Untersuchung von Kobaltsilizid-Prozessen für die Anwendung an Basis-Kontakten integrierter Si-SiGe-Heterobipolartransistoren, Jörg Markus Hohaus
- Sprache
- Erscheinungsdatum
- 2004
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- (Paperback)
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- Titel
- Untersuchung von Kobaltsilizid-Prozessen für die Anwendung an Basis-Kontakten integrierter Si-SiGe-Heterobipolartransistoren
- Sprache
- Deutsch
- Autor*innen
- Jörg Markus Hohaus
- Verlag
- Der Andere Verl.
- Erscheinungsdatum
- 2004
- Einband
- Paperback
- ISBN10
- 3899591550
- ISBN13
- 9783899591552
- Kategorie
- Skripten & Universitätslehrbücher