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Strukturbreitenbestimmung für die sub 100nm-Lithographie mittels spektralellipsometrischer Beugungsmessung
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Strukturbreitenbestimmung für die sub 100nm-Lithographie mittels spektralellipsometrischer Beugungsmessung, Andrea Weidner
- Sprache
- Erscheinungsdatum
- 2005
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- Titel
- Strukturbreitenbestimmung für die sub 100nm-Lithographie mittels spektralellipsometrischer Beugungsmessung
- Sprache
- Deutsch
- Autor*innen
- Andrea Weidner
- Verlag
- Shaker
- Erscheinungsdatum
- 2005
- Einband
- Paperback
- ISBN10
- 3832246789
- ISBN13
- 9783832246785
- Reihe
- Erlanger Berichte Mikroelektronik
- Kategorie
- Skripten & Universitätslehrbücher