Drei Metalle, eine Quelle: Das Single-Source CVD-Verfahren

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Die Arbeit behandelt die innovative Erzeugung von piezokeramischen Bleizirkonattitanat (PZT)-Schichten mittels des CVD-Verfahrens. Durch die Synthese von bi- und trimetallischen Single-Source-Precursoren gelang es, PZT-Schichten mit nur einem Precursor abzuscheiden. Diese wurden bei etwa 400 °C auf Siliziumsubstraten aufgebracht und anschließend thermisch in die Perowskitphase überführt. Durch geeignete Vorbehandlungen der Substrate konnten thermische Spannungen minimiert werden. Die strukturierten Schichten wurden elektrisch charakterisiert und in akustischen Linsen eingesetzt, wobei bis zu 64 Sensorvorstufen pro Abscheidung erzeugt wurden.